本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵FS系列

高速?zèng)_程

提升泵的沖程速度 (gao達(dá)240 spm)，讓制造過(guò)程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動(dòng)。

無(wú)污染設(shè)計(jì)

過(guò)流端零件均采用氟樹脂材質(zhì)，沒有金屬零件外露的設(shè)計(jì)，外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用*的軸封，能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C，吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時(shí)適用于化學(xué)液體供藥。

易于維護(hù)

更換開關(guān)無(wú)需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機(jī)時(shí)間。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。

規(guī)格

本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵FS系列

高速?zèng)_程

提升泵的沖程速度 (gao達(dá)240 spm)，讓制造過(guò)程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動(dòng)。

無(wú)污染設(shè)計(jì)

過(guò)流端零件均采用氟樹脂材質(zhì)，沒有金屬零件外露的設(shè)計(jì)，外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用*的軸封，能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C，吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時(shí)適用于化學(xué)液體供藥。

易于維護(hù)

更換開關(guān)無(wú)需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機(jī)時(shí)間。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。

規(guī)格