產(chǎn)品資料
日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀
產(chǎn)品名稱: 日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀
產(chǎn)品型號: RT-3000 / RG-2000
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀具有拳球醉佳電阻測量范圍的4探針法測量儀測量模式可編程和圓形/方形測量兼容的繪圖軟件自檢功能，厚度/外圍位置/溫度補(bǔ)償功能（用于硅）根據(jù)電阻范圍從兩種類型的測試儀中選擇（RT-3000（S）：寬范圍的測量范圍，RT-3000（H）：高阻的測量范圍）
日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀 的詳細(xì)介紹
日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀
測量規(guī)格
測量目標(biāo)
- 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
- 導(dǎo)電薄膜相關(guān)（金屬，ITO等）
- 擴(kuò)散樣本
- 硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延離子注入樣品
- 其他（*請與我們聯(lián)系）
測量尺寸
?8英寸，或?156x156mm
-選項(xiàng)（兼容大直徑尺寸：RG-3000型）：?12英寸，?210 x 210毫米
測量范圍
①RT-3000（S）；
[電阻（比電阻）]100μ至1MΩ·cm
[片材電阻] 1m至10MΩ/
sq②RT-3000（H）;
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq
測量規(guī)格
測量目標(biāo)
- 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
- 導(dǎo)電薄膜相關(guān)（金屬，ITO等）
- 擴(kuò)散樣本
- 硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延離子注入樣品
- 其他（*請與我們聯(lián)系）
測量尺寸
?8英寸，或?156x156mm
-選項(xiàng)（兼容大直徑尺寸：RG-3000型）：?12英寸，?210 x 210毫米
測量范圍
①RT-3000（S）；
[電阻（比電阻）]100μ至1MΩ·cm
[片材電阻] 1m至10MΩ/
sq②RT-3000（H）;
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq
映射圖像
![半自動類型<br />（多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC]）](https://www.napson.co.jp/wp/wp-content/uploads/2014/08/2D%E5%86%86%E5%9E%8B%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%94%E3%83%B3%E3%82%B01.jpg)
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日本napson高規(guī)半自動四探針薄層電阻測量儀
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