半導(dǎo)體用材料減高精度壓閥壓力調(diào)整器

半導(dǎo)體用材料減高精度壓閥壓力調(diào)整器

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 專為特殊氣體應(yīng)用設(shè)計(jì)：JETV-1525減壓閥適用于半導(dǎo)體、液晶、太陽(yáng)能電池等各種半導(dǎo)體用材料氣體的減壓。
• 高精度壓力控制：能夠精確控制氣體的壓力，確保在不同工藝條件下都能保持穩(wěn)定的氣體供應(yīng)。
• 優(yōu)良的密封性能：采用優(yōu)良的密封技術(shù)，有效防止氣體泄漏，確保使用安全。
• 寬廣的調(diào)整壓力范圍：可以滿足多種工藝需求，適應(yīng)不同的工作壓力環(huán)境。
• 耐用性強(qiáng)：采用高質(zhì)量材料制造，能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

技術(shù)參數(shù)

• 入口壓力：14.8MPa以下。
• 調(diào)整壓力：最大0.99MPa，量程規(guī)格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 氣源壓力波動(dòng)：進(jìn)口壓力每變化0.1MPa，調(diào)整壓力變化0.00075MPa。
• 承受壓力：22.2MPa（進(jìn)口側(cè)）。
• Cv值：0.08。
• 工作溫度：-10°C至+40°C。
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 內(nèi)容量：12.58cm3（不包括3個(gè)壓力表和接頭）。
• 重量：約2.4kg。
• 安裝方法：前后面板安裝用螺母安裝。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的氣體供應(yīng)，確保氣體壓力的穩(wěn)定性和精確性。
• 液晶面板生產(chǎn)：在液晶面板制造過(guò)程中，用于控制氣體壓力，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
• 太陽(yáng)能電池制造：為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)提供穩(wěn)定的氣體供應(yīng)，確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。
• 分析儀器：在各種分析儀器中，用于精確控制氣體壓力，提高分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 專為特殊氣體應(yīng)用設(shè)計(jì)：JETV-1525減壓閥適用于半導(dǎo)體、液晶、太陽(yáng)能電池等各種半導(dǎo)體用材料氣體的減壓。
• 高精度壓力控制：能夠精確控制氣體的壓力，確保在不同工藝條件下都能保持穩(wěn)定的氣體供應(yīng)。
• 優(yōu)良的密封性能：采用優(yōu)良的密封技術(shù)，有效防止氣體泄漏，確保使用安全。
• 寬廣的調(diào)整壓力范圍：可以滿足多種工藝需求，適應(yīng)不同的工作壓力環(huán)境。
• 耐用性強(qiáng)：采用高質(zhì)量材料制造，能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

技術(shù)參數(shù)

• 入口壓力：14.8MPa以下

  。
• 調(diào)整壓力：最大0.99MPa，量程規(guī)格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 氣源壓力波動(dòng)：進(jìn)口壓力每變化0.1MPa，調(diào)整壓力變化0.00075MPa

  。
• 承受壓力：22.2MPa（進(jìn)口側(cè)）

  。
• Cv值：0.08

  。
• 工作溫度：-10°C至+40°C

  。
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）

  。
• 內(nèi)容量：12.58cm3（不包括3個(gè)壓力表和接頭）

  。
• 重量：約2.4kg。
• 安裝方法：前后面板安裝用螺母安裝

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應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的氣體供應(yīng)，確保氣體壓力的穩(wěn)定性和精確性。
• 液晶面板生產(chǎn)：在液晶面板制造過(guò)程中，用于控制氣體壓力，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
• 太陽(yáng)能電池制造：為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)提供穩(wěn)定的氣體供應(yīng)，確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。
• 分析儀器：在各種分析儀器中，用于精確控制氣體壓力，提高分析結(jié)果的準(zhǔn)確性

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