我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機的組合，實現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機和高精度放電加工機的索迪克高速運動控制（SLMC）系統(tǒng)。

我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機的組合，實現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機和高精度放電加工機的索迪克高速運動控制（SLMC）系統(tǒng)。

我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機的組合，實現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機和高精度放電加工機的索迪克高速運動控制（SLMC）系統(tǒng)。