產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): CO.65/xxxPI V2.0
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì)半導(dǎo)體行業(yè)超聲波流量計(jì) CO.65/xxxPI V2.0夾緊型 · 管用 · 半導(dǎo)體級(jí) · 超聲波 · 0.65-65 L/min±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.28 kg · 5 年壽命
半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì)
半導(dǎo)體領(lǐng)域用標(biāo)準(zhǔn)夾緊型超聲波流量計(jì)
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)纹逑础MP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
- 夾緊型管用：無(wú)需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)纹逑础MP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
- 夾緊型管用：無(wú)需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)纹逑础MP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
- 夾緊型管用：無(wú)需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)纹逑?、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
- 夾緊型管用：無(wú)需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)纹逑础MP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
- 夾緊型管用：無(wú)需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
二、核心技術(shù)參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 超聲波（時(shí)差法） |
| 流量范圍 | 0.65 – 65 L/min（全范圍） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置泵） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | < 0.1 s（超聲波） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 接口 | 夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
二、核心技術(shù)參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 超聲波（時(shí)差法） |
| 流量范圍 | 0.65 – 65 L/min（全范圍） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置泵） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | < 0.1 s（超聲波） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 接口 | 夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
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