應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗后去水熱風旋轉(zhuǎn)干燥機

應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗后去水熱風旋轉(zhuǎn)干燥機

? 核心賣點

• 公轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)：晶圓自轉(zhuǎn) + 公轉(zhuǎn)雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
• 高潔凈設(shè)計：ISO Class 5（100 級）兼容，不銹鋼鏡面 + 氟樹脂涂層，無顆粒、無金屬污染
• 高速旋轉(zhuǎn)：最高 3,000 rpm（可調(diào)），G-Force 1,200 × g，干燥時間 ≤ 15 秒/片
• 熱風干 + N?  purge：內(nèi)置 HEPA + 加熱器（室溫~120 °C），可切換 N?，防止氧化/水痕
• 多尺寸兼容：2~8 英寸（50 mm – 200 mm）晶圓，無需更換夾具，一鍵切換
• 顆?？刂?/span>：< 10 pcs @ 0.2 µm（激光粒子計數(shù)器驗證），滿足 7 nm 節(jié)點要求

?? 技術(shù)參數(shù)（OKH-800 為例）

?? 機型一覽

?? 典型工藝

• RCA 清洗后干燥：旋轉(zhuǎn) + 熱 N?，無水痕、無顆粒再附著
• 顯影后干燥：低轉(zhuǎn)速 500 rpm + 常溫 N?，防止圖案坍塌
• CMP 后清洗干燥：高速 2,500 rpm + 80 °C 熱風，去除殘留漿料
• SOI 薄片干燥：公轉(zhuǎn)式支撐，無邊緣缺口、無裂紋

?? 選配功能

• 靜電消除：內(nèi)置離子棒，表面電位 < 50 V
• 旋轉(zhuǎn)監(jiān)測：實時反饋 rpm，偏差 > 1 % 報警
• 化學液滴加：可升級 IPA 滴加系統(tǒng)，Marangoni 干燥
• FFU 聯(lián)動：可與潔凈室 FFU 同步啟停，節(jié)能 30 %

?? 總結(jié)