產(chǎn)品資料
桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置
產(chǎn)品名稱: 桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置
產(chǎn)品型號(hào): FU-100
產(chǎn)品特點(diǎn): 桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置日本 PhotoScience FU-100 是一臺(tái)“潔凈環(huán)境專用"的氟氣體（F?、HF、SF?、NF? 等）濃度測(cè)量裝置，采用真空紫外光離子化（VUV-PID）+ 窄帶濾光片輪技術(shù)，可在 ppb – ppm 范圍內(nèi)連續(xù)、無(wú)耗材、高選擇性地監(jiān)測(cè)潔凈室、EUV 腔體、ALD 設(shè)備排氣中的總氟量或單一氟組分，廣泛用于半導(dǎo)體 7 nm 以下節(jié)點(diǎn)、OLED 蒸鍍、鈣鈦礦
桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置 的詳細(xì)介紹
桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置
桌面型潔凈環(huán)境氟氣體濃度監(jiān)測(cè)儀裝置
日本 PhotoScience FU-100 是一臺(tái)“潔凈環(huán)境專用"的氟氣體（F?、HF、SF?、NF? 等）濃度測(cè)量裝置，采用真空紫外光離子化（VUV-PID）+ 窄帶濾光片輪技術(shù)，可在 ppb – ppm 范圍內(nèi)連續(xù)、無(wú)耗材、高選擇性地監(jiān)測(cè)潔凈室、EUV 腔體、ALD 設(shè)備排氣中的總氟量或單一氟組分，廣泛用于半導(dǎo)體 7 nm 以下節(jié)點(diǎn)、OLED 蒸鍍、鈣鈦礦電池等對(duì)氟污染極度敏感的產(chǎn)線。
? 核心賣點(diǎn)
- VUV-窄帶輪：10.2 eV 真空紫外燈 + 6 位濾光片輪，F?/HF/NF?/SF? 單一選測(cè)，無(wú)耗材、無(wú)化學(xué)池
- ppb 級(jí)下限：0 – 500 ppb F? 檔，檢出限 1 ppb，線性 R2 > 0.999
- 潔凈對(duì)應(yīng)：全 316L EP + 金屬墊片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，無(wú)死體積 < 0.1 mL
- 高速響應(yīng)：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脈沖沖洗峰值
- 雙量程自動(dòng)切換：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三檔，自動(dòng)跳檔
- 無(wú)零點(diǎn)漂移：雙光束 VUV + 參考池，24 h 零點(diǎn)漂移 < ±1 ppb
- 數(shù)據(jù)完整：32 GB 內(nèi)置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年連續(xù)存
日本 PhotoScience FU-100 是一臺(tái)“潔凈環(huán)境專用"的氟氣體（F?、HF、SF?、NF? 等）濃度測(cè)量裝置，采用真空紫外光離子化（VUV-PID）+ 窄帶濾光片輪技術(shù)，可在 ppb – ppm 范圍內(nèi)連續(xù)、無(wú)耗材、高選擇性地監(jiān)測(cè)潔凈室、EUV 腔體、ALD 設(shè)備排氣中的總氟量或單一氟組分，廣泛用于半導(dǎo)體 7 nm 以下節(jié)點(diǎn)、OLED 蒸鍍、鈣鈦礦電池等對(duì)氟污染極度敏感的產(chǎn)線。
? 核心賣點(diǎn)
- VUV-窄帶輪：10.2 eV 真空紫外燈 + 6 位濾光片輪，F?/HF/NF?/SF? 單一選測(cè)，無(wú)耗材、無(wú)化學(xué)池
- ppb 級(jí)下限：0 – 500 ppb F? 檔，檢出限 1 ppb，線性 R2 > 0.999
- 潔凈對(duì)應(yīng)：全 316L EP + 金屬墊片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，無(wú)死體積 < 0.1 mL
- 高速響應(yīng)：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脈沖沖洗峰值
- 雙量程自動(dòng)切換：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三檔，自動(dòng)跳檔
- 無(wú)零點(diǎn)漂移：雙光束 VUV + 參考池，24 h 零點(diǎn)漂移 < ±1 ppb
- 數(shù)據(jù)完整：32 GB 內(nèi)置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年連續(xù)存
日本 PhotoScience FU-100 是一臺(tái)“潔凈環(huán)境專用"的氟氣體（F?、HF、SF?、NF? 等）濃度測(cè)量裝置，采用真空紫外光離子化（VUV-PID）+ 窄帶濾光片輪技術(shù)，可在 ppb – ppm 范圍內(nèi)連續(xù)、無(wú)耗材、高選擇性地監(jiān)測(cè)潔凈室、EUV 腔體、ALD 設(shè)備排氣中的總氟量或單一氟組分，廣泛用于半導(dǎo)體 7 nm 以下節(jié)點(diǎn)、OLED 蒸鍍、鈣鈦礦電池等對(duì)氟污染極度敏感的產(chǎn)線。
? 核心賣點(diǎn)
- VUV-窄帶輪：10.2 eV 真空紫外燈 + 6 位濾光片輪，F?/HF/NF?/SF? 單一選測(cè)，無(wú)耗材、無(wú)化學(xué)池
- ppb 級(jí)下限：0 – 500 ppb F? 檔，檢出限 1 ppb，線性 R2 > 0.999
- 潔凈對(duì)應(yīng)：全 316L EP + 金屬墊片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，無(wú)死體積 < 0.1 mL
- 高速響應(yīng)：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脈沖沖洗峰值
- 雙量程自動(dòng)切換：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三檔，自動(dòng)跳檔
- 無(wú)零點(diǎn)漂移：雙光束 VUV + 參考池，24 h 零點(diǎn)漂移 < ±1 ppb
- 數(shù)據(jù)完整：32 GB 內(nèi)置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年連續(xù)存
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
機(jī)械設(shè)備
- 磁選機(jī)
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機(jī)
- 水準(zhǔn)儀
- 變送器
- 臭氧檢測(cè)儀
- 色譜儀
- 拋光機(jī)
- 加熱器
- 張力計(jì)
- 混凝土檢測(cè)儀
- 加熱板
- 儲(chǔ)藏
- 壓力機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 破碎機(jī)
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機(jī)
- 切割機(jī)
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機(jī)
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機(jī)
- 涂布機(jī)
- 鍍膜機(jī)
- 試驗(yàn)機(jī)
- 球磨機(jī)
- 均質(zhì)機(jī)
- 脫泡機(jī)
- 點(diǎn)焊機(jī)
- 干燥機(jī)
- 研磨機(jī)
- 密度儀
- 擂搗機(jī)
- 混合設(shè)備
- 除鐵機(jī)
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點(diǎn)膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機(jī)器
- 壓鑄機(jī)
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機(jī)
- 輪廓儀
- 測(cè)量針
- 過(guò)濾器
- 比色計(jì)
- 亮度計(jì)
- 噴霧干燥機(jī)
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學(xué)合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計(jì)
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學(xué)反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服