半導(dǎo)體液晶制造裝置帶真空排氣加熱器

半導(dǎo)體液晶制造裝置帶真空排氣加熱器

半導(dǎo)體?液晶制造裝置的排氣管道因大量粉末的存在而時(shí)刻面臨污染和堵塞的風(fēng)險(xiǎn)。
HOTN2加熱器利用現(xiàn)有的稀釋用N2氣體，以低成本防止和消除這些問題。
HOT N2加熱器可用于縮短低溫泵的再生時(shí)間，以及清除負(fù)載鎖定室中的污垢。半導(dǎo)體?液晶制造裝置的排氣管道因大量粉末的存在而時(shí)刻面臨污染和堵塞的風(fēng)險(xiǎn)。
HOTN2加熱器利用現(xiàn)有的稀釋用N2氣體，以低成本防止和消除這些問題。
HOT N2加熱器可用于縮短低溫泵的再生時(shí)間，以及清除負(fù)載鎖定室中的污垢。

從外側(cè)對排氣配管進(jìn)行保溫以抑制粉末附著的技術(shù)是以往的，但由于這僅對配管內(nèi)壁進(jìn)行保溫，形狀變得復(fù)雜時(shí)，保溫不充分的部位
粉末附著了?我會成長。
另一方面，HOTN2加熱器使配管內(nèi)的整體升溫，因此無論配管的形狀如何，都能抑制粉末的析出，防止配管內(nèi)的堵塞。從外側(cè)對排氣配管進(jìn)行保溫以抑制粉末附著的技術(shù)是以往的，但由于這僅對配管內(nèi)壁進(jìn)行保溫，形狀變得復(fù)雜時(shí)，保溫不充分的部位
粉末附著了?我會成長。
另一方面，HOTN2加熱器使配管內(nèi)的整體升溫，因此無論配管的形狀如何，都能抑制粉末的析出，防止配管內(nèi)的堵塞。從外側(cè)對排氣配管進(jìn)行保溫以抑制粉末附著的技術(shù)是以往的，但由于這僅對配管內(nèi)壁進(jìn)行保溫，形狀變得復(fù)雜時(shí)，保溫不充分的部位
粉末附著了?我會成長。
另一方面，HOTN2加熱器使配管內(nèi)的整體升溫，因此無論配管的形狀如何，都能抑制粉末的析出，防止配管內(nèi)的堵塞。